PERKATAAN |
PADANAN |
BIDANG |
HURAIAN |
electron-beam lithography | | | Kaedah penghasilan litar bersepadu dengan mengimbaskan alur elektron untuk mengukir corak litar bersepadu. Keistimewaan kaedah ini dapat menghasilkan litar dengan kelebaran 10 nm atau kurang. |
|
|