| PERKATAAN |
PADANAN |
BIDANG |
HURAIAN |
| nanoscale lithography | | | Seni dan sains pemunaran, penulisan dan pencetakan huruf atau litar pada peringkat skala nanometer. Proses ini termasuklah kaedah mengubah suai cip semikonduktor pada skala atom untuk tujuan fabrikasi litar bersepadu. Peralatan yang digunakan dalam nanolitografi ini termasuklah mikroskop penerowongan imbasan (STM) dan mikroskop daya atom (AFM). |
|
| Tesaurus |
|---|
| | | seni (adjektif) | | Bersinonim dengan halus, kecil;, | |
|
|